【资料图】
1、曝光剂量修正（dosemapper,DOMA）是ASML光刻机的一项功能，它能对曝光剂量做修正，提高曝光区域之间和曝光区域内部的线宽均匀性（inter-fieldCDU）和（intra-fieldCDU）。
2、具体的做法是，首先测量整个晶圆上的线宽数据，然后把这些数据上载到光刻机DOMA服务器。
3、服务器根据事先设定的（线宽-曝光能量关系）参数，计算出曝光剂量的修正值在晶圆表面的分布。
4、这一曝光剂量的修正以子程序（dosemappersub-recipe）的方式链接在下一次的曝光文件中。
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